化學滅菌法系指利用化學藥品的氣體或產生的蒸汽進行殺滅微生物的方法。。同一種化學藥品的低濃度時呈現抑菌作用，而在高濃度時則能起殺菌作用。其殺菌機理可能是：能使微生物蛋白質變性死亡，或與酶系統結合影響代謝，或改變膜壁通透性使微生物死亡等。下面詳解化學氣體滅菌法：
1. 環氧乙烷滅菌法
環氧乙烷滅菌法是利用環氧乙烷氣體進行殺菌的方法。它是一種傳統的滅菌方法，可應用于工衣滅菌、不耐加熱滅菌的藥品、醫用器具、設施、設備等的滅菌。
環氧乙烷滅菌系統，主要有下列四項互相制約的重要因素影響滅菌效果：
1）、溫度；2）、濕度；3）、氣體濃度；4）、滅菌時間。
因為環氧乙烷是易燃易爆物質，明火可以引起燃燒，同時由于氣體分解還可能引起爆炸，環氧乙烷滅菌中應十分注意安全問題。
2.甲醛等蒸汽熏蒸法
采用甲醛、丙二醇或過氧醋酸等化學品，通過加熱產生蒸汽進行空氣環境滅菌。
(1)、計算房間體積，按10g/m3的比例稱出甲醛。
(2)、將甲醛倒入甲醛發生器或加熱盤或燒杯中，并放好加濕用水，必要時還需加入高錳酸jia（2~3g/m3），然后加熱（甲醛發生器用蒸汽加熱，加熱盤或燒杯用熱水盛入其中加熱）使其蒸發成氣體。
(3)、滅菌流程：空調器停止運轉→啟動甲醛氣體發生器或在加熱盤中加熱甲醛 →讓甲醛氣體擴散約30分鐘→啟動空調器讓甲醛氣體循環約30分鐘→停止空調器，房間熏蒸消毒，時間不少于8小時→ 房間排氣，用新鮮空氣置換約2小時→ 恢復正常運行。
當相對濕度在65%以上，溫度在24~40℃時，甲醛氣體的消毒效果*好。
3、臭氧消毒法
臭氧（O3）的消毒原理是：臭氧在常溫、常壓下分子結構不穩定，很快自行分解成氧（O2）和單個氧原子（O），后者具有很強的活性，對細菌有強的氧化作用，臭氧氧化分解了細菌內部氧化葡萄糖所必須的酶，從而破壞其細胞膜，將其殺死。多余的氧原子則會自行重新結合成為普遍氧分子（O2），不存在任何有害殘留物，故稱為無污染消毒劑。它不但對種種細菌（包括肝炎病毒、大腸桿菌、綠膿桿菌及雜菌等）有強的殺滅能力，而且對霉菌也很有效。
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